JPH0210669Y2 - - Google Patents

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JPH0210669Y2
JPH0210669Y2 JP7785683U JP7785683U JPH0210669Y2 JP H0210669 Y2 JPH0210669 Y2 JP H0210669Y2 JP 7785683 U JP7785683 U JP 7785683U JP 7785683 U JP7785683 U JP 7785683U JP H0210669 Y2 JPH0210669 Y2 JP H0210669Y2
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4696419B2 (ja) * 2001-07-30 2011-06-08 エプソントヨコム株式会社 圧電振動子
JP2006166390A (ja) * 2004-02-05 2006-06-22 Seiko Epson Corp 圧電振動片、圧電振動子及び圧電発振器
JP4613498B2 (ja) * 2004-03-01 2011-01-19 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片、圧電振動子及び圧電発振器
JP2005286992A (ja) * 2004-03-02 2005-10-13 Seiko Epson Corp 圧電振動片、圧電振動子および圧電発振器
JP2005260692A (ja) * 2004-03-12 2005-09-22 Seiko Epson Corp 圧電振動片、圧電振動子および圧電発振器
JP2006166275A (ja) * 2004-12-10 2006-06-22 Seiko Epson Corp 水晶デバイスの製造方法
JP5155620B2 (ja) * 2006-08-31 2013-03-06 セイコーインスツル株式会社 厚み滑り振動片の製造方法
JP5285495B2 (ja) * 2009-04-28 2013-09-11 京セラクリスタルデバイス株式会社 水晶振動子の製造方法
JP5377152B2 (ja) * 2009-08-12 2013-12-25 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 水晶振動子および水晶振動子の製造方法
JP4803299B2 (ja) * 2009-12-03 2011-10-26 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片、圧電振動子及び圧電発振器
JP5136635B2 (ja) * 2010-12-20 2013-02-06 セイコーエプソン株式会社 圧電振動子
JP5621590B2 (ja) * 2010-12-28 2014-11-12 日本電波工業株式会社 エッチング量センサ及びエッチング量測定方法
WO2024214335A1 (ja) * 2023-04-14 2024-10-17 株式会社村田製作所 圧電振動素子

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